Neuer SVS Roboter-Werkzeugwechsler für Halbleiterprozesse

KOSMEK hat den neuen SVS Roboter-Werkzeugwechsler für Halbleiterprozesse vorgestellt.

Der SVS wurde für den präzisen automatisierten Wechsel von Werkzeugen und Düsen entwickelt. Als kompakter Werkzeugwechsler für Roboter ist er für Anwendungen ausgelegt, bei denen der Bauraum begrenzt ist und eine hohe Wiederholgenauigkeit entscheidend ist. Er eignet sich für Halbleiter-Fertigungsanlagen und unterstützt einen zuverlässigen Wechsel direkt am Ende der Anlage.

Der SVS ist für Traglasten von 1 kg und 7 kg verfügbar und bietet eine Wiederholgenauigkeit von 5 μm. Zudem verfügt er über die patentierte Zero-Backlash Technologie von KOSMEK für hohe Positioniergenauigkeit und eine stabile Werkzeugverbindung.

Für saubere Fertigungsumgebungen in der Halbleiterindustrie verwendet der SVS für Halbleiteranwendungen geeignete Materialien, darunter Edelstahl, Aluminium, Dichtungsmaterialien aus Fluorkautschuk und staubarmes Fett. Ein rückseitiges Dichtungskonzept ermöglicht eine interne Verrohrung, während der integrierte Vakuumanschluss dazu beiträgt, kleine Rückstände und Partikel zu minimieren.

Mit seiner kompakten Bauweise, der zuverlässigen mechanischen Verriegelung und seiner auf Halbleiteranwendungen ausgelegten Konstruktion erweitert der SVS das KOSMEK Portfolio an Roboter-Werkzeugwechslern für anspruchsvolle Fertigungsautomation.