Doppeltwirkende Modelle nutzen Hydraulikdruck sowohl für den Spann- als auch für den Lösevorgang. Einfachwirkende Modelle spannen in der Regel durch Hydraulikdruck und lösen per Federkraft.
KOSMEK bietet präzise Automatisierungslösungen für die Halbleiterfertigung, von der Waferherstellung über Frontend- bis hin zu Backend-Prozessen. Unsere kompakten Produkte ermöglichen präzises Positionieren, sicheres Spannen, schnelle Werkzeugwechsel und automatisierte Handhabungsprozesse. Innovative Technologien wie die Zero-Backlash Technologie tragen dazu bei, die Positioniergenauigkeit, Prozessstabilität und Produktivität zu steigern.
Beim Zersägen von Siliziumblöcken ist eine stabile Werkstückabstützung entscheidend für die präzise Waferfertigung.. Die KOSMEK High-Power Pneumatik-Abstützelemente stoppen ihre Bewegung automatisch beim Kontakt mit dem Werkstück und gewährleisten eine hohe Abstützkraft während der Bearbeitung.
Produktbeispiel:
Katalog: Lösungen für die Halbleiterfertigung (nur auf Englisch verfügbar)
Beim Auftragen von Fotolack in der Halbleiterfertigung sind eine präzise Positionierung und schnelle Düsenwechsel entscheidend. Der KOSMEK Roboter-Werkzeugwechsler (SWRY) ermöglicht den automatisierten Düsenwechsel mit hoher Positionier- und Spanngenauigkeit. Dadurch lassen sich Rüstzeiten reduzieren und die Prozessstabilität verbessern.
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Der Wechsel von Beschichtungsköpfen erfordert eine präzise Positionierung und sichere Verbindungen. KOSMEK Roboter-Werkzeugwechsler mit patentierter Zero-Backlash Technologie und 3 µm Wiederholgenauigkeit ermöglichen hochpräzise, zuverlässige Werkzeugwechsel. In Kombination mit pneumatischen Positionsspannern unterstützen sie eine stabile Positionierung und effiziente Wechselprozesse.
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Beim Einrichten von Belichtungsanlagen für die Halbleiterfertigung ist die genaue Positionierung von Vorrichtungen und Werkstücken entscheidend. KOSMEK Positionierungspins mit Spreizmechanismus ermöglichen eine hochpräzise Positionierung und unterstützen eine genaue Ausrichtung. Pneumatische und manuelle Ausführungen stehen für unterschiedliche Automatisierungsanforderungen zur Verfügung.
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Bei Ätz- und Reinigungsprozessen in der Halbleiterfertigung müssen Module für zuverlässige Anlagenverbindungen sicher positioniert und gespannt werden. Die kompakten KOSMEK High-Power Spannsysteme bieten hohe Spannkräfte und unterstützen stabile Andockvorgänge sowie einen zuverlässigen Anlagenbetrieb.
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Zuverlässige Medienverbindungen sind für Ätz- und Reinigungsanlagen in der Halbleiterfertigung entscheidend. KOSMEK Kupplungen ermöglichen das automatische Verbinden und Trennen von Medienleitungen. Dies unterstützt effiziente Anlagenumrüstungen und reduziert manuelle Eingriffe.
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Beim chemisch-mechanischen Polieren (CMP) muss die robotergestützte Handhabung hohe Anforderungen an Sauberkeit und Betriebssicherheit erfüllen. KOSMEK Robotergreifer ermöglichen eine effiziente Werkstückhandhabung und eine flexible Auslegung der Greifwerkzeuge. Für Anwendungen mit besonderen Material- und Reinheitsanforderungen können kundenspezifische Edelstahlausführungen in Betracht gezogen werden.
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Eine zuverlässige Medienversorgung ist für Anlagen zum chemisch-mechanischen Polieren entscheidend. KOSMEK Drehdurchführungen ermöglichen die Übertragung verschiedener Medien zwischen feststehenden und rotierenden Komponenten und gewährleisten so die kontinuierliche Medienversorgung während des Anlagenbetriebs.
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Bei der Waferprüfung in der Halbleiterfertigung sind präzise Positionierung und zuverlässige Werkzeugwechsel entscheidend für genaue Prüfergebnisse. KOSMEK Roboter-Werkzeugwechsler und Palettengreifer ermöglichen sichere Verbindungen und effiziente Wechselprozesse. High-Power Pneumatik-Abstützelemente sorgen zusätzlich für eine stabile Abstützung während der Prüfung. Diese Lösungen helfen, Rüstzeiten zu verkürzen und die Prozessstabilität zu verbessern.
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Automatisierte Werkzeugwechsel in Schleifanlagen für die Halbleiterfertigung erhöhen die Flexibilität und reduzieren manuelle Eingriffe. KOSMEK Roboter-Werkzeugwechsler ermöglichen den automatischen Wechsel verschiedener Endeffektoren, beispielsweise für Werkstücktransfer und Dichtmittelauftrag. Die Zero-Backlash Technologie sorgt für präzise, wiederholgenaue Verbindungen und unterstützt eine zuverlässige Roboterautomation.
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Beim Wafer-Dicing, dem Trennen von Wafern in einzelne Halbleiterchips, ist eine präzise Einstellung und sichere Fixierung der Tischhöhe entscheidend für einen stabilen Bearbeitungsprozess. KOSMEK Pneumatik-Abstützelemente fixieren die Abstützstange nach der Höheneinstellung mit hoher Haltekraft. Dadurch bleibt die eingestellte Position während des Betriebs zuverlässig erhalten.
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Beim Die-Bonding (Befestigen von Halbleiterchips auf einem Träger) und Wire-Bonding (Herstellen elektrischer Drahtverbindungen) ist eine präzise Positionierung der Spannvorrichtungen entscheidend. KOSMEK Schraub-Positioniersysteme ermöglichen einen genauen Vorrichtungswechsel mit einer Positionier-Wiederholgenauigkeit von 3 µm. Dies unterstützt reproduzierbare Vorrichtungspositionen und zuverlässige Rüstvorgänge bei der Halbleitermontage.
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Beim Molding, der Verkapselung von Halbleiterchips mit schützenden Formmassen, sind eine sichere Spannung und präzise Positionierung der Formvorrichtungen entscheidend. KOSMEK Pneumatikspanner sorgen für zuverlässige Spannkräfte, während Schraub-Positioniersysteme eine genaue Ausrichtung ermöglichen. Gemeinsam unterstützen diese Lösungen stabile Molding-Prozesse und effiziente Rüstvorgänge.
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Automatisierte Spannplattenwechsel erhöhen die Flexibilität von Molding-Anlagen in der Halbleiterfertigung. KOSMEK Schnellwechsler für Spannplatten ermöglichen einen einfachen und schnellen Wechsel am Picker-Roboter. Dadurch sinkt der manuelle Wechselaufwand und die Fertigung wird effizienter.
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Ein effizienter Formentransfer und eine einfache Beladung reduzieren den manuellen Handhabungsaufwand und verbessern die Zugänglichkeit der Anlage. KOSMEK Rollenbahnen und pneumatische Heberollenleisten unterstützen den reibungslosen Transport der Formen beim Be- und Entladen. Abnehmbare Rollenbahnen sparen zudem Platz, wenn sie nicht benötigt werden.
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Präzise Positionierung und sicheres Spannen sind für zuverlässige Prüfprozesse in der Halbleiterfertigung entscheidend. KOSMEK pneumatische Positionsspanner und kompakte Positionsspanner ermöglichen die genaue Positionierung und das sichere Spannen von Prüfvorrichtungen. Dies unterstützt wiederholgenaue Rüstvorgänge und effiziente Werkzeugwechsel.
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KOSMEK Smart Series Zentrierspanner nutzen die mechanische Kraft eines Roboters oder Transfersystems zum Positionieren und Spannen. Eine separate pneumatische oder hydraulische Antriebsquelle ist dafür nicht erforderlich. Dies ermöglicht die einfache Integration in automatisierte Prüfanlagen für die Halbleiterfertigung.
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KOSMEK leckagefreie Kupplungen ermöglichen zuverlässige Dichtheitsprüfungen in der Halbleiterfertigung. Sie halten den Luftdruck auf der Abgangsseite auch nach dem Trennen der Verbindung aufrecht, ohne dass eine kontinuierliche Druckluftversorgung erforderlich ist. Dies unterstützt effiziente und flexible Prüfabläufe.
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Doppeltwirkende Modelle nutzen Hydraulikdruck sowohl für den Spann- als auch für den Lösevorgang. Einfachwirkende Modelle spannen in der Regel durch Hydraulikdruck und lösen per Federkraft.
Der Status der Funkabfrage wird über einen Funk-Monitor (Empfänger) überwacht und kann als Ausgangssignal für die Maschinensteuerung oder SPS-Verriegelungen übertragen werden.
Unsere Spannermodelle mit Funkabfrage sind als doppeltwirkende Hydraulikspanner, einfachwirkende Hydraulikspanner und in der High-Power Pneumatikserie verfügbar.
KOSMEK nutzt eine eigene Frequenz. Dies ermöglicht es Ihnen, die Signalstärke anzupassen, damit sich die Signale bei eng zusammenstehenden Maschinen nicht gegenseitig stören.
Das Signal wird rein durch die Eigenbewegung des Spanners erzeugt.
Die Funkabfrage funktioniert ohne externe Stromversorgung am Spanner. Dies reduziert den Verkabelungsaufwand und vereinfacht das Vorrichtungsdesign. Eine Stromversorgung wird lediglich für den Monitor zur Zustandsüberwachung benötigt.
Spanner mit Funkabfrage sind für die Lösebestätigung (Entspannkontrolle) konzipiert. Der Spanner überträgt den Status „Gelöst“ per Funksignal, um sicherere Verriegelungen und zuverlässigere Automatisierungsabläufe zu unterstützen.
Nein. Die gleichen Modellreihen für Schwenk- und Hebelspanner werden auch als Standardversionen ohne Funkabfrage angeboten.
KOSMEK
Schleppeplatz 2
9020 Klagenfurt am Wörthersee
Austria
